精密模具几何形状对热处理变形的影响，实际上仍是通过热应力、组织应力来起作用的。由于精密模具的形状是多种多样的，要从中总结出确切的变形规律，目前还很困难。

对于对称型的精密模具，可根据型腔尺寸、外形尺寸及高度来考虑型腔的变形倾向。当精密模具的壁薄、高度小时，则较易于淬透，这时有可能是组织应力起主导作用，因此，型腔常趋向胀大。反之，壁厚、高度大，则不易淬透，此时可能是热应力起主导作用，因此，型腔常趋向缩小。这里所说的是一般趋势，在生产实践中，还须结合零件的具体形状，所采用的钢种及热处理工艺等来加以考虑，通过实践不断总结出经验来。由于实际生产中，精密模具的外形尺寸往往不是主要的工作尺寸，且变形后还可通过磨削加工等加以校正，所以上面分析的主要是型腔的变形趋势。

对于不对称的精密模具的变形，同样也是热应力、组织应力综合作用的结果。例如，对薄壁薄边的精密模具，由于模壁薄，淬火时内外温差小，因而热应力小；但容易淬透，组织应力较大，所以变形趋向于型腔胀大。

为了减小精密模具的变形，热处理部门应与精密模具设计部门共同研究，改善精密模具设计，如尽可能避免截面大小相差悬殊的精密模具结构、精密模具形状力求对称、复杂精密模具用拼合结构等。

当不能改变精密模具形状时，为了减小变形，还可以采取一些其它的措施。这些措施总的考虑是改善冷却条件，使各部分得以均匀冷却；此外，也可以辅助以各种强制措施，以限制零件的淬火变形。例如，增加工艺孔，就是使各部分均匀冷却的一个措施，即在精密模具某些部分开孔，使精密模具各个部分得以均匀地冷却以减小变形。也可在淬火后容易胀大的精密模具外围用石棉包住，以增大内孔与外层的冷却差异，使型腔收缩。在精密模具上留筋或加筋是减少变形的又一种强制措施，它特别适用于型腔胀大的凹模，及槽口易胀大或缩小的精密模具。